潔凈技術(shù)是一門新興的技術(shù)。在科學(xué)實(shí)驗和工業(yè)生產(chǎn)中,產(chǎn)品加工的精密化、等微型化、高純度和可靠性要求具有一個受控的塵埃粒子污染的生產(chǎn)環(huán)境。早在20世紀(jì)20年代美國航空業(yè)陀螺儀制造過程最先提出了生產(chǎn)環(huán)境的凈化要求,為消除空氣中的塵埃粒子對航空儀器的污染。